Ioonkiirega sadestamise aurustamise optiline kattekiht
Kirjeldus
See on tipptasemel seade ülikõrge täpsusega optoelektrooniliste seadmete valmistamiseks. Keskendudes kvaliteetsele optilisele kattele, on sellel äärmiselt madal hajuvusväärtus ja defektide tihedus. Sobib ülitäpse pinnakatte tootmiseks nõudlikes rakendustes, nagu laser, optiline side, lennundus, biomeditsiin, autooptika, MEMS-andurid ja pan-pooljuhid.
Rakendus
Sinine klaas ja valge klaas IR-CUT, sinine klaas ja valge klaas AR, vaigulääts AR, periskoobi täisnurga prisma jne.
Funktsioonid
- Masstootmise standardmasin
- Reaalajas võrgumonitor
- Täielikult autonoomne optiline juhtimine
- Avatud protsessi disain
- RISE RF iooniallikas: ioonkiire vool on täpne ja juhitav, pika pideva tööajaga, sobib erinevatele töögaasidele ja kilekihile saastevaba.
- Ainulaadne plasmaallikas: raadiosagedusajam, kulumaterjalivaba töö, puhaste hapnikuioonide pakkumine, tagades suurepärased spektraalnäitajad kindlates ribades.
- Valgusega juhitav: valgusega juhitav kile moodustamise kontrolli täpsus: 0.1-0,3%, ainulaadse struktuuri ja tõhusa optilise tee kujundusega, ülikiirete spektriandmete reaalajas kogumisega ja sõltumatult välja töötatud intelligentne valgusega juhitav põhialgoritm.
- Uuenduslik juhtimissüsteem: avatud modulaarne süsteemiarhitektuur, ARM-il põhinev nutikas juhtimissüsteem, sõbralik inimese ja masina interaktsiooni kogemus, mis toetab IoT-d ja pilvandmetöötluse arhitektuuri.
Tehnilised parameetrid
|
Mudel |
OPIE1550 |
|
|
Vaakumruum |
SUS304, φ1550x1600mm (K) |
|
|
Vaakumsüsteem |
4 molekulaarpumpa +1 mehaanilise pumba/juurpumbakomplekt |
|
|
Töödeldava detaili riiul |
tooriku ketta läbimõõt 1460 mm, pöörlemiskiirus 0-30 p/min |
|
|
Auruallikas |
2 komplekti elektroonilisi püstoleid (kahe püssi, kahekordne skaneerimine, topeltkiud, 270-kraadise valgusvihu kõrvalekalde nurk, võimsus 10 kW) |
|
|
Sadestamise süsteem |
RISE raadiosageduslik iooniallikas + spetsiaalne plasmaallikas (valikuline) |
|
|
Kontrollsüsteem |
Vaakuumsadestamise intelligentne juhtimissüsteem |
|
|
Seiresüsteem |
Kristalli kile paksuse jälgimise süsteem |
konfigureeritud vastavalt erinõuetele, standardkonfiguratsioon |
|
Optiline õhukese kilega reaalajas jälgimissüsteem |
isearendatud optiline juhtimissüsteem (lai spekter, üks lainepikkus) valikuline |
|
|
Sügav jahutussüsteem |
kompressori võimsus 10KW, mähise jahutustemperatuur<-130°C |
|
Kuum tags: ioonkiirega sadestamise aurustamise optiline kattekiht, Hiina ioonkiirega sadestamise aurustamisega optiliste kattekihtide tootjad, tehas
